高速扫描电子显微镜

高速扫描电子显微镜 

HEM6000

HEM6000是一款可实现跨尺度大规模样品成像的高速扫描电子显微镜。采用高亮度大束流电子枪、高速电子偏转系统、高压样品台减速、动态光轴、浸没式电磁复合物镜等技术，实现了高速图像采集和成像，同时保证了纳米级分辨率。面向应用场景的自动化操作流程设计，使得大面积的高分辨率图像采集工作更高效、更智能。成像速度可达常规场发射扫描电镜的5倍以上。

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产品优势

高速自动化 

全自动上下样流程和采图作业，综合成像速度优于常规场发射扫描电镜的5倍

大场低畸变

跟随扫描场动态变化的光轴，实现了更低的场边缘畸变

低压高分辨 

样品台减速技术，实现低落点电压，同时保证高分辨率

应用领域

应用案例

大规模成像

规格书 

关键参数 

分辨率        1.3nm @ 3 kV，SE；2.2 nm @ 1 kV，SE； 

                  1.9nm @ 3 kV，BSE；3.3 nm @ 1 kV，BSE；

加速电压    100 V~6 kV(减速模式) 6 kV~30 kV(非减速模式) 

放大倍率     66~1,000,000x 

电子枪类型  高亮度肖特基场发射电子枪 

物镜类型     浸没式电磁复合物镜 

样品装载系统 

真空系统    全自动控制，无油真空系统 

样品监控    样品仓监控水平摄像头 ； 换样仓监控垂直摄像头

样品最大尺寸     直径4英寸 

样品台 

类型          电机驱动3轴样品台（*可选配压电驱动样品台） 

行程          X、Y轴：110mm；Z轴：28mm；

重复定位精度     X轴：±0.6 um；Y轴：±0.3 um 

换样方式   全自动控制 

换样时间   ＜15 min 

换样仓清洗        全自动控制等离子清洗系统 

图像采集与处理 

驻点时间    10 ns/pixel 

图像采集速度     2*100 M pixel/s 

图像大小    8K*8K 

探测器和扩展 

标配 

镜筒内混合电子探测器 

选配

低角度背散射电子探测器 

镜筒内高角度背散射电子探测器 

压电驱动样品台 

高分辨大场模式

样品仓等离子清洗系统 

6英寸样品装载系统

主动减震台 

AI降噪；大图拼接；三维重构 

软件 

语言  中文 

操作系统 Windows 

导航 光学导航、手势快捷导航 

自动功能 自动样品识别、自动选区拍摄、自动亮度对比度、自动聚焦、自动像散

服务

扫描电子显微镜实验室 

我们在合肥、无锡、广州和上海设有扫描电子显微镜实验室，实验室配备多名电镜技术专家和高级电镜应用工程师，提供包含电 镜应用技术开发、样品拍摄在内的多种服务。主要应用领域有锂电池、新型纳米材料、半导体材料、矿物冶金、地质勘探、生物医药等。 实验室依托国仪量子电镜产品，在电镜应用领域开展具有自主知识产权的科研项目，致力于实现科学研究和人才培养的目标。与此同时，实验室也为有电镜应用需求的科研院所、大专院校、企事业单位提供优质的服务。