静电力显微镜

Trek 1100TN静电力显微镜(EFM)使电压分布的测量具有非常高的空间分辨率-10μm远远超出典型的静电电压表的能力。与在大气条件下操作的扫描探针显微镜相比，Trek的EFM还可以测量更大的表面积的电压分布。Trek的EFM使用一个反馈电压到检测器，它等于测量的电压，从而防止探测器和测试表面之间的电弧影响。

静电力显微镜1100TN

可以在大气条件下使用

空间分辨率优于10μm

三种测量模式:

——静态

——谱线轮廓

——三维投影

测量范围:0到±1 kV直流

空间分辨率(参考输入电压与combshaped电极:信号强度10μm宽度的60%  信号强度20μm宽度的70%

分离探测器测试和表面(Z轴)与压电控制阶段:通常5μm

精度:超过0.5%。

电压灵敏度:大于100mV。

采样速度:30 ms到0.1 ms每个数据样本。

扫描区域

X轴和Y轴: ±15mm，分辨率为1μm。

Z轴范围:0到5mm。

Z轴压电阶段范围:0到80μm 和1μm准确性

光学系统

用于检测悬臂畸变的激光装置:激光二极管670nm带探测器光电二极管。

观察实际测量点。

光源:绿色

摄像头:CCD 380k像素。

物镜:10 x镜头500μm方形在监控摄像头