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高压大电流探针台测试系统平台:IGBT高压大电流测试探针台
可用于◆ 同轴丝杠传动结构,线性移动,IGBT测试台
IGBT高压大电流测试探针台
◆ 可升级做射频,大电流方面的测试和激光修复应用
台体规格:
CW-4/CW-6/CW-8 |
4英寸/6英寸/8英寸 |
可360度旋转,可微调15度,精度0.1度,带角度锁死装置 |
4英寸*4英寸/6英寸*6英寸 |
10微米/1微米 |
可升降mm |
真空吸附,中心吸附孔,多圈吸附环 |
U型针座平台,最多可放置8个探针座 |
3KV//10KV |
10A |
样品台电学独立悬空,4mm插孔可接背电极 |
400mm长*400mm宽*600mm高/580mm长*480mm宽*600mm高 |
约40千克/60千克 |
光学系统:
单筒显微镜/体式显微镜/金相显微镜 |
16X-200X/20X-4000X |
X-Y轴行程2英寸*2英寸,Z轴行程50.8mm |
外置LED环形光源/同轴光源 |
200万像素/500万像素/1200万像素 |
定位器:
12mm*12mm*12mm |
10微米/2微米/0.7微米/0.5微米 |
磁力吸附/真空吸附 |
同轴线/三轴线 |
10pA/100fA/10fA |
弹簧固定/管状固定 |
BNC/三轴/香蕉头/鳄鱼夹/接线端子 |
0.2微米/1微米/2微米/5微米/10微米/20微米 |
钨钢/铍铜 |
可选附件
显示器 |
射频测试配件 |
光学平台 |
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