吉时利半导体参数分析仪

吉时利半导体参数分析仪主要性能指标：

I-V 源测量单元(SMU)

± 210 V/100 mA 或 ± 210 V/1 A 模块

100 fA测量分辨率

选配前端放大器提供了 10 aA测量分辨率

10 mHz - 10 Hz 超低频率电容测量

100 μF负载电容

吉时利半导体参数分析仪四象限操作：

2 线或 4 线连接

C-V 多频率电容单元(CVU)

AC 阻抗测量 (C-V, C-f, C-t)

1 kHz - 10 MHz 频率范围

± 30 V (60 V差分)内置DC偏置源，可以扩展到± 210 V(420 V 差分)

选配 CVIV 多通道开关，在 I-V 测量和 C-V 测量之间简便切换脉冲式I-V 超快速脉冲测量单元(PMU)

两个独立的或同步的高速脉冲 I-V 源和测量通道

200 MSa/s，5 ns 采样率

±40 V (80 V p-p)，±800 mA

瞬态波形捕获模式

任意波形发生器 Segment ARB® 模式，支持多电平脉冲波形，10 ns 可编程分辨率

高压脉冲发生器单元(PGU)

两个高速脉冲电压源通道

±40 V (80 V p-p)，± 800 mA

任意波形发生器 Segment ARB®模式，支持多电平脉冲波形，10 ns 可编程分辨率I-V/C-V 多通道开关模块 (CVIV)

在 I-V测量和 C-V 测量之间简便切换，无需重新布线或抬起探针

把 C-V测量移动到任意端子，无需重新布线或抬起探针远程前端放大器/ 开关模块(RPM)

在 I-V 测量、C-V 测量和超快速脉冲 I-V 测量之间自动切换

把 4225-PMU的电流灵敏度扩展到数十皮安

降低电缆电容效应为材料、半导体器件和工艺开发提供优秀的参数分析仪

使用强大的Clarius 软件，可以更加快速的完成I-V, C-V 和脉冲I-V 测试，结果清晰明了